Ọ bụrụ na ekuru 3-amino-5-mercapto-1,2, 4-triazole, biko kpalie onye ọrịa ahụ na ikuku ọhụrụ; ọ bụrụ na ị metụ akpụkpọ ahụ, yipụ uwe ndị e metọrọ emetọ ma jiri mmiri ncha na mmiri saa anụ ahụ nke ọma. Ọ bụrụ na ahụ erughị gị ala, chọọ ndụmọdụ ahụike; ọ bụrụ n ’anya gị dị ọcha, kewaa nkuanya ahụ, jiri mmiri na-asọ asọ ma ọ bụ nnu nkịtị, sachaa ndụmọdụ ahụike ozugbo; ma ọ bụrụ na ị na-a ,ụ, ikwacha akpiri ozugbo, emela ka agba agbọ, ma chọọ ndụmọdụ ahụike ozugbo.

A na-eji ya iji dozie ihe nhicha photoresist

Na usoro ọkụ ọkụ na semiconductor a na-ahụkarị, a na-ekpuchi nkpuchi nke photoresist n'elu ụfọdụ ihe, a na-enyefe ụkpụrụ ahụ mgbe ikpughe. Mgbe ị chọtachara ụkpụrụ achọrọ, ọ ga-abụrịrị na a ga-ewepụrịrị ihe phodoresist ahụ fọrọ afọ tupu usoro ọzọ. Na usoro a, achọrọ ka iwepu photoresist na-enweghị isi na-enweghị emebi mkpụrụ ọ bụla. Ka ọ dị ugbu a, ihe nhicha photoresist na-abụkarị ihe mejupụtara ihe mejupụtara polar, alkali siri ike na / ma ọ bụ mmiri, wdg. Photoresist na semiconductor wafer nwere ike wepu ya site na itinye semiconductor mgbawa n'ime nhicha mmiri mmiri ma ọ bụ ịsacha semiconductor mgbawa na nhicha mmiri .

E mepụtala ụdị nhicha photoresist ọhụrụ, nke bụ mmiri na-adịghị ala etching. O nwere: mmanya amine, 3-amino-5-mercapto-1,2,4-triazole na cosolvent. Nke a na ụdị photoresist ihicha ngwọta nwere ike iji wepụ photoresist na ikanam na semiconductor. N'otu oge ahụ, ọ nweghị ọgụ na mkpụrụ, dị ka metal aluminom. Ihe bụ ihe ọzọ, usoro nwere ike mmiri na-eguzogide ma na-agbasawanye ya ọrụ window. Ọ nwere ezigbo atụmanya ngwa ngwa n'ọhịa nke ikanam na semiconductor mgbawa nhicha.